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電子の低温化に伴うプラズマ基礎現象の変化

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電子の低温化に伴うプラズマ基礎現象の変化

Call No. (NDL)
Y151-H03680002
Bibliographic ID of National Diet Library
000006984876
Material type
図書
Author
飯塚, 哲, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1991-1992
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
デンシ ノ テイオンカ ニ トモナウ プラズマ キソ ゲンショウ ノ ヘンカ
Author/Editor
飯塚, 哲, 東北大学
Author Heading
飯塚, 哲 イイヅカ, サトル
Publication Date
1991-1992
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
低エネルギー電子 テイエネルギーデンシ
プラズマプロセス プラズマプロセス
高周波放電 コウシユウハホウデン
室温プラズマ シツオンプラズマ
ホロー陰極 ホローインキヨク
電子温度制御 デンシオンドセイギヨ
プラズマ化学 プラズマカガク
反応性プラズマ ハンノウセイプラズマ