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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- スーパーマグネトロンプラズマ オ モチイタ レジスト ノ コウセイド ・ チョウビサイ エツチング
- 著者・編者
- 木下, 治久, 静岡大学
- 出版年月日等
- 1991-1992
- 出版年（W3CDTF）
- 1991
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)
- 件名標目
- マグネトロンプラズマ マグネトロンプラズマスーパーマグネトロンプラズマ スーパーマグネトロンプラズマ半導体プロセス ハンドウタイプロセスプラズマエツチング プラズマエツチング低温エツチング テイオンエツチングクオータミクロンエツチング クオータミクロンエツチングプラズマプロセス プラズマプロセス反応性イオンエツチング ハンノウセイイオンエツチング