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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- スーパーマグネトロンプラズマ オ モチイタ レジスト ノ コウセイド ・ チョウビサイ エツチング
- Author/Editor
- 木下, 治久, 静岡大学
- Author Heading
- 著者 ： 木下, 治久, 1952- キノシタ, ハルヒサ, 1952- ( 00325166 )Authorities静岡大学 シズオカ ダイガク ( 00302677 )Authorities
- Publication Date
- 1991-1992
- Publication Date (W3CDTF)
- 1991
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(C)
- Subject Heading
- マグネトロンプラズマ マグネトロンプラズマスーパーマグネトロンプラズマ スーパーマグネトロンプラズマ半導体プロセス ハンドウタイプロセスプラズマエツチング プラズマエツチング低温エツチング テイオンエツチングクオータミクロンエツチング クオータミクロンエツチングプラズマプロセス プラズマプロセス反応性イオンエツチング ハンノウセイイオンエツチング