図書

電界蒸発機構による極微細接合・加工

図書を表すアイコン

電界蒸発機構による極微細接合・加工

国立国会図書館請求記号
Y151-H03805063
国立国会図書館書誌ID
000006985126
資料種別
図書
著者
安田, 清和, 大阪大学
出版者
-
出版年
1991-1992
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
すべて見る

資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
図書
タイトルよみ
デンカイ ジョウハツ キコウ ニ ヨル ゴク ビサイ セツゴウ ・ カコウ
著者・編者
安田, 清和, 大阪大学
著者標目
安田, 清和 ヤスダ, キヨカズ
出版年月日等
1991-1992
出版年(W3CDTF)
1991
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
極微細加工 キヨクビサイカコウ
極微細接合 キヨクビサイセツゴウ
走査型トンネル顕微鏡 ソウサガタトンネルケンビキヨウ
STM STM
電界蒸発 デンカイジヨウハツ
表面加工 ヒヨウメンカコウ
シリコン シリコン