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図書

電界蒸発機構による極微細接合・加工

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電界蒸発機構による極微細接合・加工

Call No. (NDL)
Y151-H03805063
Bibliographic ID of National Diet Library
000006985126
Material type
図書
Author
安田, 清和, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1991-1992
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
デンカイ ジョウハツ キコウ ニ ヨル ゴク ビサイ セツゴウ ・ カコウ
Author/Editor
安田, 清和, 大阪大学
Author Heading
安田, 清和 ヤスダ, キヨカズ
Publication Date
1991-1992
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
極微細加工 キヨクビサイカコウ
極微細接合 キヨクビサイセツゴウ
走査型トンネル顕微鏡 ソウサガタトンネルケンビキヨウ
STM STM
電界蒸発 デンカイジヨウハツ
表面加工 ヒヨウメンカコウ
シリコン シリコン