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赤外線散乱法による半導体結晶内の欠陥の検出と評価

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赤外線散乱法による半導体結晶内の欠陥の検出と評価

国立国会図書館請求記号
Y151-H04402018
国立国会図書館書誌ID
000006985694
資料種別
図書
著者
小川, 智哉, 学習院大学
出版者
-
出版年
1992-1994
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
セキガイセン サンランホウ ニ ヨル ハンドウタイ ケッショウ ナイ ノ ケッカン ノ ケンシュツ ト ヒョウカ
著者・編者
小川, 智哉, 学習院大学
著者標目
小川, 智哉 オガワ, トモヤ
出版年月日等
1992-1994
出版年(W3CDTF)
1992
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(A)
件名標目
光散乱 ヒカリサンラン
トモグラフイー トモグラフイー
光散乱トモグラフイー ヒカリサンラントモグラフイー
シリコン単結晶 シリコンタンケツシヨウ
砒化カリユウム単結晶 ヒカカリユウムタンケツシヨウ
セレン化亜鉛単結晶 セレンカアエンタンケツシヨウ
格子欠陥 コウシケツカン
転位組織 テンイソシキ