赤外線散乱法による半導体結晶内の欠陥の検出と評価

• Material Type: 図書
• Title: 赤外線散乱法による半導体結晶内の欠陥の検出と評価
• Title Transcription: セキガイセン サンランホウ ニ ヨル ハンドウタイ ケッショウ ナイ ノ ケッカン ノ ケンシュツ ト ヒョウカ
• Author/Editor: 小川, 智哉, 学習院大学
• Author Heading: 小川, 智哉 オガワ, トモヤ
• Publication Date: 1992-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1992
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(A)
• Subject Heading: 光散乱 ヒカリサンラン; トモグラフイー トモグラフイー; 光散乱トモグラフイー ヒカリサンラントモグラフイー; シリコン単結晶 シリコンタンケツシヨウ; 砒化カリユウム単結晶 ヒカカリユウムタンケツシヨウ; セレン化亜鉛単結晶 セレンカアエンタンケツシヨウ; 格子欠陥 コウシケツカン; 転位組織 テンイソシキ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04402018
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H04402018
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006985694; http://id.ndl.go.jp/bib/000006985694
• Bibliographic Record Category (NDL): 214