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摩擦駆動による超高速・超精密位置決めの研究

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摩擦駆動による超高速・超精密位置決めの研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H04402027
国立国会図書館書誌ID
000006985703
資料種別
図書
著者
大塚, 二郎, 静岡理工科大学
出版者
-
出版年
1992-1993
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
マサツ クドウ ニ ヨル チョウコウソク ・ チョウセイミツ イチギメ ノ ケンキュウ
著者・編者
大塚, 二郎, 静岡理工科大学
著者標目
大塚, 二郎, 1940- オオツカ, ジロウ, 1940- ( 00063672 )典拠
出版年月日等
1992-1993
出版年(W3CDTF)
1992
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(A)
件名標目
摩擦駆動 マサツクドウ
超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ
超高速位置決め チヨウコウソクイチギメ
ナノメータ ナノメータ
位置決め精度 イチギメセイド