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摩擦駆動による超高速・超精密位置決めの研究

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摩擦駆動による超高速・超精密位置決めの研究

Call No. (NDL)
Y151-H04402027
Bibliographic ID of National Diet Library
000006985703
Material type
図書
Author
大塚, 二郎, 静岡理工科大学
Publisher
-
Publication date
1992-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
マサツ クドウ ニ ヨル チョウコウソク ・ チョウセイミツ イチギメ ノ ケンキュウ
Author/Editor
大塚, 二郎, 静岡理工科大学
Author Heading
大塚, 二郎, 1940- オオツカ, ジロウ, 1940- ( 00063672 )Authorities
Publication Date
1992-1993
Publication Date (W3CDTF)
1992
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(A)
Subject Heading
摩擦駆動 マサツクドウ
超精密位置決め チヨウセイミツイチギメ
超高速位置決め チヨウコウソクイチギメ
ナノメータ ナノメータ
位置決め精度 イチギメセイド