原子層エツチング技術の開発研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 原子層エツチング技術の開発研究
• タイトルよみ: ゲンシソウ エツチング ギジュツ ノ カイハツ ケンキュウ
• 著者・編者: 目黒, 多加志, 理化学研究所
• 著者標目: 目黒, 多加志 メグロ, タカシ
• 出版年月日等: 1992-1993
• 出版年（W3CDTF）: 1992
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: ガリウム砒素 ガリウムヒソ; 塩素 エンソ; ドライエツチング ドライエツチング; 原子層 ゲンシソウ; デジタルエツチング デジタルエツチング; 自動停止 ジドウテイシ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 04452097
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H04452097
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006986062; http://id.ndl.go.jp/bib/000006986062
• 整理区分コード: 214