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図書
原子層エツチング技術の開発研究
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原子層エツチング技術の開発研究
国立国会図書館請求記号
Y151-H04452097
国立国会図書館書誌ID
000006986062
資料種別
図書
著者
目黒, 多加志, 理化学研究所
出版者
-
出版年
1992-1993
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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書誌情報
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書誌情報を出力
紙
資料種別
図書
タイトル
原子層エツチング技術の開発研究
タイトルよみ
ゲンシソウ エツチング ギジュツ ノ カイハツ ケンキュウ
著者・編者
目黒, 多加志, 理化学研究所
著者標目
目黒, 多加志
メグロ, タカシ
出版年月日等
1992-1993
出版年(W3CDTF)
1992
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
ガリウム砒素
ガリウムヒソ
塩素
エンソ
ドライエツチング
ドライエツチング
原子層
ゲンシソウ
デジタルエツチング
デジタルエツチング
自動停止
ジドウテイシ
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
04452097
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H04452097
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000006986062
http://id.ndl.go.jp/bib/000006986062
整理区分コード
214
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