原子層エツチング技術の開発研究

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Material Type: 図書
Title: 原子層エツチング技術の開発研究
Title Transcription: ゲンシソウエツチングギジュツノカイハツケンキュウ
Author/Editor: 目黒, 多加志, 理化学研究所
Author Heading: 目黒, 多加志メグロ, タカシ
Publication Date: 1992-1993
Publication Date (W3CDTF): 1992
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: ガリウム砒素ガリウムヒソ
塩素エンソ
ドライエツチングドライエツチング
原子層ゲンシソウ
デジタルエツチングデジタルエツチング
自動停止ジドウテイシ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04452097
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H04452097
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006986062
http://id.ndl.go.jp/bib/000006986062
Bibliographic Record Category (NDL): 214