高電圧・極短パルスプラズマによるCVD表面反応の能動的制御

• 資料種別: 図書
• タイトル: 高電圧・極短パルスプラズマによるCVD表面反応の能動的制御
• タイトルよみ: コウデンアツ ・ ゴクタン パルスプラズマ ニ ヨル CVD ヒョウメン ハンノウ ノ ノウドウテキ セイギョ
• 著者・編者: 岡崎, 健, 東京工業大学
• 著者標目: 岡崎, 健 オカザキ, ケン
• 出版年月日等: 1992-1993
• 出版年（W3CDTF）: 1992
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: プラズマCVD プラズマCVD; ラジカル反応 ラジカルハンノウ; パルスプラズマ パルスプラズマ; 反応制御 ハンノウセイギヨ; ダイヤモンド ダイヤモンド; 核発生 カクハツセイ; 表面反応 ヒヨウメンハンノウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 04452147
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H04452147
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006986111; http://id.ndl.go.jp/bib/000006986111
• 整理区分コード: 214