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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- コウデンアツ ・ ゴクタン パルスプラズマ ニ ヨル CVD ヒョウメン ハンノウ ノ ノウドウテキ セイギョ
- Author/Editor
- 岡崎, 健, 東京工業大学
- Author Heading
- 岡崎, 健 オカザキ, ケン
- Publication Date
- 1992-1993
- Publication Date (W3CDTF)
- 1992
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- Subject Heading
- プラズマCVD プラズマCVDラジカル反応 ラジカルハンノウパルスプラズマ パルスプラズマ反応制御 ハンノウセイギヨダイヤモンド ダイヤモンド核発生 カクハツセイ表面反応 ヒヨウメンハンノウ
- NDLC
- Note (General)
- 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
- Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research
- 04452147
- Holding library
- 国立国会図書館
- Call No.
- Y151-H04452147
- Data Provider (Database)
- 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
- Bibliographic ID (NDL)
- 000006986111
- Bibliographic Record Category (NDL)
- 214