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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- コウデンアツ ・ ゴクタン パルスプラズマ ニ ヨル CVD ヒョウメン ハンノウ ノ ノウドウテキ セイギョ
- Author/Editor
- 岡崎, 健, 東京工業大学
- Author Heading
- 岡崎, 健 オカザキ, ケン
- Publication Date
- 1992-1993
- Publication Date (W3CDTF)
- 1992
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)