次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究
• タイトルよみ: ジセダイ コウシュウセキ カイロ(LSI)ヨウ クラスターイオン チュウニュウ ソウチ ノ シサク ケンキュウ
• 著者・編者: 山田, 公, 京都大学
• 著者標目: 山田, 公 ヤマダ, イサオ
• 出版年月日等: 1992-1994
• 出版年（W3CDTF）: 1992
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: ガスクラスター ガスクラスター; 高密度照射効果 コウミツドシヨウシヤコウカ; 低エネルギーイオンビーム テイエネルギーイオンビーム; ラテラルスパツタ ラテラルスパツタ; イオン注入 イオンチユウニユウ; 表面クリーニング ヒヨウメンクリーニング; 薄膜形成 ハクマクケイセイ; LSI LSI
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 04555003
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H04555003
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006987054; http://id.ndl.go.jp/bib/000006987054
• 整理区分コード: 214