次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究

• Material Type: 図書
• Title: 次世代高集積回路(LSI)用クラスターイオン注入装置の試作研究
• Title Transcription: ジセダイ コウシュウセキ カイロ(LSI)ヨウ クラスターイオン チュウニュウ ソウチ ノ シサク ケンキュウ
• Author/Editor: 山田, 公, 京都大学
• Author Heading: 山田, 公 ヤマダ, イサオ
• Publication Date: 1992-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1992
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: ガスクラスター ガスクラスター; 高密度照射効果 コウミツドシヨウシヤコウカ; 低エネルギーイオンビーム テイエネルギーイオンビーム; ラテラルスパツタ ラテラルスパツタ; イオン注入 イオンチユウニユウ; 表面クリーニング ヒヨウメンクリーニング; 薄膜形成 ハクマクケイセイ; LSI LSI
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04555003
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H04555003
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006987054; http://id.ndl.go.jp/bib/000006987054
• Bibliographic Record Category (NDL): 214