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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトル
- タイトルよみ
- チョウハクマク カンショウケイ ノ シサク
- 著者・編者
- 小川, 智哉, 学習院大学
- 著者標目
- 小川, 智哉 オガワ, トモヤ
- 出版年月日等
- 1992-1994
- 出版年(W3CDTF)
- 1992
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究(B)
- 件名標目
- CZ-Siウエハー CZ-SIウエハーdenuded zone DENUDEDZONEintrinsic gettering INTRINSICGETTERING析出酸化物微粒子の粒径 セキシユツサンカブツビリユウシノリユウケイ高温超伝導被膜の均質性 コウオンチヨウデンドウヒマクノキンシツセイ多重量子井戸構造積層膜 タジユウリヨウシイドコウゾウセキソウマク光の回折 ヒカリノカイセツ面の粗さ メンノアラサ