超薄膜干渉計の試作

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Material Type: 図書
Title: 超薄膜干渉計の試作
Title Transcription: チョウハクマクカンショウケイノシサク
Author/Editor: 小川, 智哉, 学習院大学
Author Heading: 小川, 智哉オガワ, トモヤ
Publication Date: 1992-1994
Publication Date (W3CDTF): 1992
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: CZ-Siウエハー CZ-SIウエハー
denuded zone DENUDEDZONE
intrinsic gettering INTRINSICGETTERING
析出酸化物微粒子の粒径セキシユツサンカブツビリユウシノリユウケイ
高温超伝導被膜の均質性コウオンチヨウデンドウヒマクノキンシツセイ
多重量子井戸構造積層膜タジユウリヨウシイドコウゾウセキソウマク
光の回折ヒカリノカイセツ
面の粗さメンノアラサ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04555006
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H04555006
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006987057
http://id.ndl.go.jp/bib/000006987057
Bibliographic Record Category (NDL): 214