電子デバイス用超薄膜の弾性定数評価法の確立

• 資料種別: 図書
• タイトル: 電子デバイス用超薄膜の弾性定数評価法の確立
• タイトルよみ: デンシ デバイスヨウ チョウハクマク ノ ダンセイ テイスウ ヒョウカホウ ノ カクリツ
• 著者・編者: 大南正瑛, 立命館大学
• 著者標目: 大南, 正瑛 オオナミ, マサテル
• 出版年月日等: 1992-1993
• 出版年（W3CDTF）: 1992; 1993
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: 電子デバイス デンシデバイス; 薄膜 ハクマク; 弾性定数 ダンセイテイスウ; ヤング率 ヤングリツ; 曲げ試験 マゲシケン; 固有振動数 コユウシンドウスウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 04555030
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H04555030
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006987078; http://id.ndl.go.jp/bib/000006987078
• 整理区分コード: 214