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電子デバイス用超薄膜の弾性定数評価法の確立

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電子デバイス用超薄膜の弾性定数評価法の確立

Call No. (NDL)
Y151-H04555030
Bibliographic ID of National Diet Library
000006987078
Material type
図書
Author
大南正瑛, 立命館大学
Publisher
-
Publication date
1992-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
デンシ デバイスヨウ チョウハクマク ノ ダンセイ テイスウ ヒョウカホウ ノ カクリツ
Author/Editor
大南正瑛, 立命館大学
Author Heading
大南, 正瑛 オオナミ, マサテル
Publication Date
1992-1993
Publication Date (W3CDTF)
1992
1993
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
電子デバイス デンシデバイス
薄膜 ハクマク
弾性定数 ダンセイテイスウ
ヤング率 ヤングリツ
曲げ試験 マゲシケン
固有振動数 コユウシンドウスウ