電子デバイス用超薄膜の弾性定数評価法の確立

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Material Type: 図書
Title: 電子デバイス用超薄膜の弾性定数評価法の確立
Title Transcription: デンシデバイスヨウチョウハクマクノダンセイテイスウヒョウカホウノカクリツ
Author/Editor: 大南正瑛, 立命館大学
Author Heading: 大南, 正瑛オオナミ, マサテル
Publication Date: 1992-1993
Publication Date (W3CDTF): 1992
1993
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: 電子デバイスデンシデバイス
薄膜ハクマク
弾性定数ダンセイテイスウ
ヤング率ヤングリツ
曲げ試験マゲシケン
固有振動数コユウシンドウスウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04555030
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H04555030
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006987078
http://id.ndl.go.jp/bib/000006987078
Bibliographic Record Category (NDL): 214