アーク放電プラズマによる大面積ダイヤモンド膜合成装置の試作

• 資料種別: 図書
• タイトル: アーク放電プラズマによる大面積ダイヤモンド膜合成装置の試作
• タイトルよみ: アーク ホウデン プラズマ ニ ヨル ダイ メンセキ ダイヤモンドマク ゴウセイ ソウチ ノ シサク
• 著者・編者: 平田, 敦, 東京工業大学
• 著者標目: 平田, 敦 ヒラタ, アツシ
• 出版年月日等: 1992-1993
• 出版年（W3CDTF）: 1992
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: アーク放電 アークホウデン; プラズマ プラズマ; ダイヤモンド ダイヤモンド; 気相合成 キソウゴウセイ; 合成面積 ゴウセイメンセキ; 合成速度 ゴウセイソクド
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 04555033
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H04555033
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006987081; http://id.ndl.go.jp/bib/000006987081
• 整理区分コード: 214