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短波長用光学材料中の欠陥生成の抑制と微量ガス成分の測定・制御

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短波長用光学材料中の欠陥生成の抑制と微量ガス成分の測定・制御

国立国会図書館請求記号
Y151-H04555189
国立国会図書館書誌ID
000006987226
資料種別
図書
著者
今川, 宏, 東洋大学
出版者
-
出版年
1992-1993
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
タンハチョウヨウ コウガク ザイリョウ チュウ ノ ケッカン セイセイ ノ ヨクセイ ト ビリョウ ガス セイブン ノ ソクテイ ・ セイギョ
著者・編者
今川, 宏, 東洋大学
著者標目
今川, 宏 イマガワ, ヒロシ
出版年月日等
1992-1993
出版年(W3CDTF)
1992
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
吸蔵ガス キユウゾウガス
質量分析 シツリヨウブンセキ
水晶 スイシヨウ
ルチル ルチル
シリカガラス シリカガラス
表面改質 ヒヨウメンカイシツ
表面損失 ヒヨウメンソンシツ
イオン打込み イオンウチコミ