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短波長用光学材料中の欠陥生成の抑制と微量ガス成分の測定・制御

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短波長用光学材料中の欠陥生成の抑制と微量ガス成分の測定・制御

Call No. (NDL)
Y151-H04555189
Bibliographic ID of National Diet Library
000006987226
Material type
図書
Author
今川, 宏, 東洋大学
Publisher
-
Publication date
1992-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
タンハチョウヨウ コウガク ザイリョウ チュウ ノ ケッカン セイセイ ノ ヨクセイ ト ビリョウ ガス セイブン ノ ソクテイ ・ セイギョ
Author/Editor
今川, 宏, 東洋大学
Author Heading
今川, 宏 イマガワ, ヒロシ
Publication Date
1992-1993
Publication Date (W3CDTF)
1992
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
吸蔵ガス キユウゾウガス
質量分析 シツリヨウブンセキ
水晶 スイシヨウ
ルチル ルチル
シリカガラス シリカガラス
表面改質 ヒヨウメンカイシツ
表面損失 ヒヨウメンソンシツ
イオン打込み イオンウチコミ