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電界イオン顕微鏡による蒸着膜成長過程の動的観察

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電界イオン顕微鏡による蒸着膜成長過程の動的観察

国立国会図書館請求記号
Y151-H04650017
国立国会図書館書誌ID
000006987902
資料種別
図書
著者
森川, 浩志, 名古屋工業大学
出版者
-
出版年
1992-1993
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
デンカイ イオン ケンビキョウ ニ ヨル ジョウチャクマク セイチョウ カテイ ノ ドウテキ カンサツ
著者・編者
森川, 浩志, 名古屋工業大学
著者標目
森川, 浩志 モリカワ, ヒロシ
出版年月日等
1992-1993
出版年(W3CDTF)
1992
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
電界イオン顕微鏡 デンカイイオンケンビキヨウ
真空蒸着 シンクウジヨウチヤク
薄膜成長 ハクマクセイチヨウ
エピタクシー エピタクシー
タングステン タングステン
銅蒸着膜 ドウジヨウチヤクマク