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電界イオン顕微鏡による蒸着膜成長過程の動的観察

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電界イオン顕微鏡による蒸着膜成長過程の動的観察

Call No. (NDL)
Y151-H04650017
Bibliographic ID of National Diet Library
000006987902
Material type
図書
Author
森川, 浩志, 名古屋工業大学
Publisher
-
Publication date
1992-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
デンカイ イオン ケンビキョウ ニ ヨル ジョウチャクマク セイチョウ カテイ ノ ドウテキ カンサツ
Author/Editor
森川, 浩志, 名古屋工業大学
Author Heading
森川, 浩志 モリカワ, ヒロシ
Publication Date
1992-1993
Publication Date (W3CDTF)
1992
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
電界イオン顕微鏡 デンカイイオンケンビキヨウ
真空蒸着 シンクウジヨウチヤク
薄膜成長 ハクマクセイチヨウ
エピタクシー エピタクシー
タングステン タングステン
銅蒸着膜 ドウジヨウチヤクマク