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図書

光回路用低損失スパツタ薄膜

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光回路用低損失スパツタ薄膜

国立国会図書館請求記号
Y151-H04650264
国立国会図書館書誌ID
000006988031
資料種別
図書
著者
宮入, 圭一, 信州大学
出版者
-
出版年
1992-1993
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
光回路用低損失スパツタ薄膜
タイトルよみ
コウカイロヨウ テイソンシツ スパツタ ハクマク
著者・編者
宮入, 圭一, 信州大学
著者標目
宮入, 圭一 ミヤイリ, ケイイチ
出版年月日等
1992-1993
出版年（W3CDTF）
1992
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
放電プラズマ ホウデンプラズマ
放電発光スペクトル ホウデンハツコウスペクトル
スパツタ薄膜 スパツタハクマク
誘電体薄膜 ユウデンタイハクマク
酸化タンタル膜 サンカタンタルマク