光回路用低損失スパツタ薄膜

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Material Type: 図書
Title: 光回路用低損失スパツタ薄膜
Title Transcription: コウカイロヨウテイソンシツスパツタハクマク
Author/Editor: 宮入, 圭一, 信州大学
Author Heading: 宮入, 圭一ミヤイリ, ケイイチ
Publication Date: 1992-1993
Publication Date (W3CDTF): 1992
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: 放電プラズマホウデンプラズマ
放電発光スペクトルホウデンハツコウスペクトル
スパツタ薄膜スパツタハクマク
誘電体薄膜ユウデンタイハクマク
酸化タンタル膜サンカタンタルマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04650264
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H04650264
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006988031
http://id.ndl.go.jp/bib/000006988031
Bibliographic Record Category (NDL): 214