スパツタ形プラズマ源を用いた窒化鉄系高飽和磁化軟磁性薄膜の作製

• 資料種別: 図書
• タイトル: スパツタ形プラズマ源を用いた窒化鉄系高飽和磁化軟磁性薄膜の作製
• タイトルよみ: スパツタケイ プラズマ ゲン オ モチイタ チッカテツケイ コウホウワ ジカナンジセイ ハクマク ノ サクセイ
• 著者・編者: 星, 陽一, 東京工芸大学
• 著者標目: 星, 陽一 ホシ, ヨウイチ
• 出版年月日等: 1992-1993
• 出版年（W3CDTF）: 1992
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: 窒化鉄薄膜 チツカテツハクマク; プラズマ源 プラズマゲン; スパツタ スパツタ; イオンビームデポジツシヨン イオンビームデポジツシヨン; 軟磁性薄膜 ナンジセイハクマク; 高飽和磁化 コウホウワジカ; 薄膜ヘツド ハクマクヘツド
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 04650272
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H04650272
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006988035; http://id.ndl.go.jp/bib/000006988035
• 整理区分コード: 214