スパツタ形プラズマ源を用いた窒化鉄系高飽和磁化軟磁性薄膜の作製

• Material Type: 図書
• Title: スパツタ形プラズマ源を用いた窒化鉄系高飽和磁化軟磁性薄膜の作製
• Title Transcription: スパツタケイ プラズマ ゲン オ モチイタ チッカテツケイ コウホウワ ジカナンジセイ ハクマク ノ サクセイ
• Author/Editor: 星, 陽一, 東京工芸大学
• Author Heading: 星, 陽一 ホシ, ヨウイチ
• Publication Date: 1992-1993
• Publication Date (W3CDTF): 1992
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: 窒化鉄薄膜 チツカテツハクマク; プラズマ源 プラズマゲン; スパツタ スパツタ; イオンビームデポジツシヨン イオンビームデポジツシヨン; 軟磁性薄膜 ナンジセイハクマク; 高飽和磁化 コウホウワジカ; 薄膜ヘツド ハクマクヘツド
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04650272
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H04650272
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006988035; http://id.ndl.go.jp/bib/000006988035
• Bibliographic Record Category (NDL): 214