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ホツトスポツト蒸着法による高強度金属薄膜ターゲツトの開発

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ホツトスポツト蒸着法による高強度金属薄膜ターゲツトの開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H04804013
国立国会図書館書誌ID
000006989658
資料種別
図書
著者
菅井, 勲, 東京大学
出版者
-
出版年
1992-1993
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ホツトスポツト ジョウチャクホウ ニ ヨル コウキョウド キンゾク ハクマク ターゲツト ノ カイハツ
著者・編者
菅井, 勲, 東京大学
著者標目
菅井, 勲 スガイ, イサオ
出版年月日等
1992-1993
出版年(W3CDTF)
1992
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
炭素ストリツパー薄膜 タンソストリツパーハクマク
放電アーク ホウデンアーク
蒸着膜 ジヨウチヤクマク
高融点金属膜 コウユウテンキンゾクマク
超高温 チヨウコウオン
化合物薄膜 カゴウブツハクマク