ホツトスポツト蒸着法による高強度金属薄膜ターゲツトの開発

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Material Type: 図書
Title: ホツトスポツト蒸着法による高強度金属薄膜ターゲツトの開発
Title Transcription: ホツトスポツトジョウチャクホウニヨルコウキョウドキンゾクハクマクターゲツトノカイハツ
Author/Editor: 菅井, 勲, 東京大学
Author Heading: 菅井, 勲スガイ, イサオ
Publication Date: 1992-1993
Publication Date (W3CDTF): 1992
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: 炭素ストリツパー薄膜タンソストリツパーハクマク
放電アークホウデンアーク
蒸着膜ジヨウチヤクマク
高融点金属膜コウユウテンキンゾクマク
超高温チヨウコウオン
化合物薄膜カゴウブツハクマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04804013
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H04804013
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006989658
http://id.ndl.go.jp/bib/000006989658
Bibliographic Record Category (NDL): 214