ウルトラクリーン・プラズマプロセスシステムの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: ウルトラクリーン・プラズマプロセスシステムの開発
• タイトルよみ: ウルトラ クリーン プラズマ プロセス システム ノ カイハツ
• 著者・編者: 大見忠弘, 東北大学 [著]
• 著者標目: 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ; 東北大学 トウホク ダイガク
• 出版事項: [大見忠弘]
• 出版年月日等: 1993-1994
• 出版年（W3CDTF）: 1993; 1994
• 数量: 2冊 (成果報告書ほか)
• その他のタイトル: 研究種目 国際学術研究
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: プラズマプロセス プラズマ プロセス; ウルトラクリーンシステム ウルトラクリーン システム; 半導体プロセス装置 ハンドウタイ プロセス ソウチ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05044074
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05044074
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006989972; http://id.ndl.go.jp/bib/000006989972
• 整理区分コード: 214