ウルトラクリーン・プラズマプロセスシステムの開発

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Material Type: 図書
Title: ウルトラクリーン・プラズマプロセスシステムの開発
Title Transcription: ウルトラクリーンプラズマプロセスシステムノカイハツ
Author/Editor: 大見忠弘, 東北大学 [著]
Author Heading: 大見, 忠弘オオミ, タダヒロ
東北大学トウホクダイガク
Publication, Distribution, etc.: [大見忠弘]
Publication Date: 1993-1994
Publication Date (W3CDTF): 1993
1994
Extent: 2冊 (成果報告書ほか)
Additional Title: 研究種目国際学術研究
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: eng
Subject Heading: プラズマプロセスプラズマプロセス
ウルトラクリーンシステムウルトラクリーンシステム
半導体プロセス装置ハンドウタイプロセスソウチ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05044074
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05044074
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006989972
http://id.ndl.go.jp/bib/000006989972
Bibliographic Record Category (NDL): 214