金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究
• タイトルよみ: キンゾク キバン SOI ・ メタルゲート コウユウデンリツ ゼツエンマク CMOS チョウコウソク シュウセキ カイロ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 大見, 忠弘, 東北大学
• 著者標目: 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
• 出版年月日等: 1993-1994
• 出版年（W3CDTF）: 1993
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(A)
• 件名標目: メタルゲート電極 メタルゲートデンキヨク; 高誘電率ゲート絶縁膜 コウユウデンリツゲートゼツエンマク; 金属基板 キンゾクキバン; コンタクト抵抗 コンタクトテイコウ; 銅配線 ドウハイセン; SOIMOSEFT SOIMOSEFT; 閾値 イキチ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05402039
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05402039
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006990324; http://id.ndl.go.jp/bib/000006990324
• 整理区分コード: 214