金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究

• Material Type: 図書
• Title: 金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究
• Title Transcription: キンゾク キバン SOI ・ メタルゲート コウユウデンリツ ゼツエンマク CMOS チョウコウソク シュウセキ カイロ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 大見, 忠弘, 東北大学
• Author Heading: 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
• Publication Date: 1993-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1993
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(A)
• Subject Heading: メタルゲート電極 メタルゲートデンキヨク; 高誘電率ゲート絶縁膜 コウユウデンリツゲートゼツエンマク; 金属基板 キンゾクキバン; コンタクト抵抗 コンタクトテイコウ; 銅配線 ドウハイセン; SOIMOSEFT SOIMOSEFT; 閾値 イキチ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05402039
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H05402039
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006990324; http://id.ndl.go.jp/bib/000006990324
• Bibliographic Record Category (NDL): 214