フオトルミネツセンスによるシリコン結晶中の軽元素・重金属不純物の評価

• 資料種別: 図書
• タイトル: フオトルミネツセンスによるシリコン結晶中の軽元素・重金属不純物の評価
• タイトルよみ: フオトルミネツセンス ニ ヨル シリコン ケッショウ チュウ ノ ケイゲンソ ・ ジュウキンゾク フジュンブツ ノ ヒョウカ
• 著者・編者: 田島, 道夫, 宇宙科学研究所
• 著者標目: 田島, 道夫 タジマ, ミチオ
• 出版年月日等: 1993-1994
• 出版年（W3CDTF）: 1993
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: フオトルミネツセンス フオトルミネツセンス; シリコン シリコン; 結晶評価 ケツシヨウヒヨウカ; 軽元素不純物 ケイゲンソフジユンブツ; 重金属不純物 ジユウキンゾクフジユンブツ; サーマルドナー サーマルドナー; 酸素析出物 サンソセキシユツブツ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05452099
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05452099
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006990686; http://id.ndl.go.jp/bib/000006990686
• 整理区分コード: 214