フオトルミネツセンスによるシリコン結晶中の軽元素・重金属不純物の評価

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Material Type: 図書
Title: フオトルミネツセンスによるシリコン結晶中の軽元素・重金属不純物の評価
Title Transcription: フオトルミネツセンスニヨルシリコンケッショウチュウノケイゲンソ・ジュウキンゾクフジュンブツノヒョウカ
Author/Editor: 田島, 道夫, 宇宙科学研究所
Author Heading: 田島, 道夫タジマ, ミチオ
Publication Date: 1993-1994
Publication Date (W3CDTF): 1993
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: フオトルミネツセンスフオトルミネツセンス
シリコンシリコン
結晶評価ケツシヨウヒヨウカ
軽元素不純物ケイゲンソフジユンブツ
重金属不純物ジユウキンゾクフジユンブツ
サーマルドナーサーマルドナー
酸素析出物サンソセキシユツブツ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05452099
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05452099
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006990686
http://id.ndl.go.jp/bib/000006990686
Bibliographic Record Category (NDL): 214