フオトルミネツセンスによるシリコン結晶中の軽元素・重金属不純物の評価

• Material Type: 図書
• Title: フオトルミネツセンスによるシリコン結晶中の軽元素・重金属不純物の評価
• Title Transcription: フオトルミネツセンス ニ ヨル シリコン ケッショウ チュウ ノ ケイゲンソ ・ ジュウキンゾク フジュンブツ ノ ヒョウカ
• Author/Editor: 田島, 道夫, 宇宙科学研究所
• Author Heading: 田島, 道夫 タジマ, ミチオ
• Publication Date: 1993-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1993
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: フオトルミネツセンス フオトルミネツセンス; シリコン シリコン; 結晶評価 ケツシヨウヒヨウカ; 軽元素不純物 ケイゲンソフジユンブツ; 重金属不純物 ジユウキンゾクフジユンブツ; サーマルドナー サーマルドナー; 酸素析出物 サンソセキシユツブツ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05452099
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H05452099
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006990686; http://id.ndl.go.jp/bib/000006990686
• Bibliographic Record Category (NDL): 214