特殊環境下における微細加工面の評価システムに関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 特殊環境下における微細加工面の評価システムに関する研究
• タイトルよみ: トクシュ カンキョウ カ ニ オケル ビサイ カコウメン ノ ヒョウカ システム ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 吉田, 嘉太郎, 千葉大学
• 著者標目: 吉田, 嘉太郎 ヨシダ, ヨシタロウ
• 出版年月日等: 1993-1994
• 出版年（W3CDTF）: 1993
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: 超高真空 チヨウコウシンクウ; 微細加工 ビサイカコウ; 原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ; 熱変形 ネツヘンケイ; 観察評価 カンサツヒヨウカ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05452132
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05452132
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006990713; http://id.ndl.go.jp/bib/000006990713
• 整理区分コード: 214