特殊環境下における微細加工面の評価システムに関する研究

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Material Type: 図書
Title: 特殊環境下における微細加工面の評価システムに関する研究
Title Transcription: トクシュカンキョウカニオケルビサイカコウメンノヒョウカシステムニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 吉田, 嘉太郎, 千葉大学
Author Heading: 吉田, 嘉太郎ヨシダ, ヨシタロウ
Publication Date: 1993-1994
Publication Date (W3CDTF): 1993
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: 超高真空チヨウコウシンクウ
微細加工ビサイカコウ
原子間力顕微鏡ゲンシカンリヨクケンビキヨウ
熱変形ネツヘンケイ
観察評価カンサツヒヨウカ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05452132
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05452132
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006990713
http://id.ndl.go.jp/bib/000006990713
Bibliographic Record Category (NDL): 214