ドライプロセスによる多結晶炭化珪素薄膜の形成とその薄膜トランジスタへの応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: ドライプロセスによる多結晶炭化珪素薄膜の形成とその薄膜トランジスタへの応用
• タイトルよみ: ドライプロセス ニ ヨル タケッショウ タンカ ケイソ ハクマク ノ ケイセイ ト ソノ ハクマク トランジスタ ヘ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 小沼, 義治, 信州大学
• 著者標目: 小沼, 義治 コヌマ, ヨシハル
• 出版年月日等: 1994-1995
• 出版年（W3CDTF）: 1994
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: 炭化珪素 タンカケイソ; スパツタリング スパツタリング; 薄膜 ハクマク; 多結晶 タケツシヨウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05452186
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05452186
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006990762; http://id.ndl.go.jp/bib/000006990762
• 整理区分コード: 214