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ドライプロセスによる多結晶炭化珪素薄膜の形成とその薄膜トランジスタへの応用
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ドライプロセスによる多結晶炭化珪素薄膜の形成とその薄膜トランジスタへの応用
国立国会図書館請求記号
Y151-H05452186
国立国会図書館書誌ID
000006990762
資料種別
図書
著者
小沼, 義治, 信州大学
出版者
-
出版年
1994-1995
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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紙
資料種別
図書
タイトル
ドライプロセスによる多結晶炭化珪素薄膜の形成とその薄膜トランジスタへの応用
タイトルよみ
ドライプロセス ニ ヨル タケッショウ タンカ ケイソ ハクマク ノ ケイセイ ト ソノ ハクマク トランジスタ ヘ ノ オウヨウ
著者・編者
小沼, 義治, 信州大学
著者標目
小沼, 義治
コヌマ, ヨシハル
出版年月日等
1994-1995
出版年(W3CDTF)
1994
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
炭化珪素
タンカケイソ
スパツタリング
スパツタリング
薄膜
ハクマク
多結晶
タケツシヨウ
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
05452186
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H05452186
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000006990762
http://id.ndl.go.jp/bib/000006990762
整理区分コード
214
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