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ドライプロセスによる多結晶炭化珪素薄膜の形成とその薄膜トランジスタへの応用

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ドライプロセスによる多結晶炭化珪素薄膜の形成とその薄膜トランジスタへの応用

Call No. (NDL)
Y151-H05452186
Bibliographic ID of National Diet Library
000006990762
Material type
図書
Author
小沼, 義治, 信州大学
Publisher
-
Publication date
1994-1995
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ドライプロセス ニ ヨル タケッショウ タンカ ケイソ ハクマク ノ ケイセイ ト ソノ ハクマク トランジスタ ヘ ノ オウヨウ
Author/Editor
小沼, 義治, 信州大学
Author Heading
小沼, 義治 コヌマ, ヨシハル
Publication Date
1994-1995
Publication Date (W3CDTF)
1994
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
炭化珪素 タンカケイソ
スパツタリング スパツタリング
薄膜 ハクマク
多結晶 タケツシヨウ