プロセスプラズマ内の負イオンのカイネテイツクスに関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: プロセスプラズマ内の負イオンのカイネテイツクスに関する研究
• タイトルよみ: プロセスプラズマ ナイ ノ フイオン ノ カイネテイツクス ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 河野, 明廣, 名古屋大学
• 著者標目: 河野, 明廣 コウノ, アキヒロ
• 出版年月日等: 1993-1994
• 出版年（W3CDTF）: 1993
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: 負イオン フイオン; SF6 SF6; NF3 NF3; RFプラズマ RFプラズマ; 光脱離 ヒカリダツリ; マススペクトル マススペクトル; マイクロ波空洞共振法 マイクロハクウドウキヨウシンホウ; 電子密度 デンシミツド
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05452187
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05452187
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006990763; http://id.ndl.go.jp/bib/000006990763
• 整理区分コード: 214