プロセスプラズマ内の負イオンのカイネテイツクスに関する研究

• Material Type: 図書
• Title: プロセスプラズマ内の負イオンのカイネテイツクスに関する研究
• Title Transcription: プロセスプラズマ ナイ ノ フイオン ノ カイネテイツクス ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 河野, 明廣, 名古屋大学
• Author Heading: 河野, 明廣 コウノ, アキヒロ
• Publication Date: 1993-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1993
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: 負イオン フイオン; SF6 SF6; NF3 NF3; RFプラズマ RFプラズマ; 光脱離 ヒカリダツリ; マススペクトル マススペクトル; マイクロ波空洞共振法 マイクロハクウドウキヨウシンホウ; 電子密度 デンシミツド
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05452187
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H05452187
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006990763; http://id.ndl.go.jp/bib/000006990763
• Bibliographic Record Category (NDL): 214