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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ゴク ビサイ Si ドツト PN セツゴウ ソシ ノ サクセイ ト ギイチジゲン リョウシ コウカ ノ カイメイ
- 著者・編者
- 堀池, 靖浩, 東洋大学
- 著者標目
- 堀池, 靖浩 ホリイケ, ヤスヒロ
- 出版年月日等
- 1995-1995
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
- 件名標目
- 極微細SiドツトPN接合素子 キヨクビサイSIドツトPNセツゴウソシ擬一次元量子効果 ギ1ジゲンリヨウシコウカ原子層デジタルエツチング ゲンシソウデジタルエツチング自己停止反応 ジコテイシハンノウイオン注入 イオンチユウニユウ結晶欠陥 ケツシヨウケツカン二重ゲートMOS細線 ニジユウゲートMOSサイセンSOI細線 SOIサイセン