極微細SiドツトPN接合素子の作製と擬一次元量子効果の解明

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Material Type: 図書
Title: 極微細SiドツトPN接合素子の作製と擬一次元量子効果の解明
Title Transcription: ゴクビサイ Si ドツト PN セツゴウソシノサクセイトギイチジゲンリョウシコウカノカイメイ
Author/Editor: 堀池, 靖浩, 東洋大学
Author Heading: 堀池, 靖浩ホリイケ, ヤスヒロ
Publication Date: 1995-1995
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: 極微細SiドツトPN接合素子キヨクビサイSIドツトPNセツゴウソシ
擬一次元量子効果ギ1ジゲンリヨウシコウカ
原子層デジタルエツチングゲンシソウデジタルエツチング
自己停止反応ジコテイシハンノウ
イオン注入イオンチユウニユウ
結晶欠陥ケツシヨウケツカン
二重ゲートMOS細線ニジユウゲートMOSサイセン
SOI細線 SOIサイセン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05452189
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05452189
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006990765
http://id.ndl.go.jp/bib/000006990765
Bibliographic Record Category (NDL): 214