書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- マイクロハ リモートプラズマ ニ ヨル アタラシイ チッカブツ ハンドウタイタンケッショウ ハクマク セイチョウ ト ヒョウカ
- 著者・編者
- 吉田, 明, 豊橋技術科学大学
- 著者標目
- 吉田, 明 ヨシダ, アキラ
- 出版年月日等
- 1993-1994
- 出版年（W3CDTF）
- 1993
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
- 件名標目
- 窒化物半導体 チツカブツハンドウタイリモートプラズマ リモートプラズマヘテロエピタキシー ヘテロエピタキシー単結晶半導体薄膜 タンケツシヨウハンドウタイハクマクマイクロ波励起プロセス マイクロハレイキプロセスインジウム化合物半導体 インジウムカゴウブツハンドウタイ窒素プラズマ励起プロセス チツソプラズマレイキプロセスワイドギヤツプ半導体 ワイドギヤツプハンドウタイ