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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- マイクロハ リモートプラズマ ニ ヨル アタラシイ チッカブツ ハンドウタイタンケッショウ ハクマク セイチョウ ト ヒョウカ
- Author/Editor
- 吉田, 明, 豊橋技術科学大学
- Author Heading
- 吉田, 明 ヨシダ, アキラ
- Publication Date
- 1993-1994
- Publication Date (W3CDTF)
- 1993
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- Subject Heading
- 窒化物半導体 チツカブツハンドウタイリモートプラズマ リモートプラズマヘテロエピタキシー ヘテロエピタキシー単結晶半導体薄膜 タンケツシヨウハンドウタイハクマクマイクロ波励起プロセス マイクロハレイキプロセスインジウム化合物半導体 インジウムカゴウブツハンドウタイ窒素プラズマ励起プロセス チツソプラズマレイキプロセスワイドギヤツプ半導体 ワイドギヤツプハンドウタイ