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圧電材料の低温接合とその応用に関する研究

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圧電材料の低温接合とその応用に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H05452289
国立国会図書館書誌ID
000006990852
資料種別
図書
著者
須賀, 唯知, 東京大学
出版者
-
出版年
1993-1994
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
アツデン ザイリョウ ノ テイオン セツゴウ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
須賀, 唯知, 東京大学
著者標目
著者 : 須賀, 唯知, 1953- スガ, タダトモ, 1953- ( 00204636 )典拠
出版年月日等
1993-1994
出版年(W3CDTF)
1993
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
圧電材料 アツデンザイリヨウ
低温接合 テイオンセツゴウ
常温接合 ジヨウオンセツゴウ
陽極接合 ヨウキヨクセツゴウ
シリコン シリコン
イオン衝撃 イオンシヨウゲキ
ラジカルビーム ラジカルビーム
表面活性化 ヒヨウメンカツセイカ