圧電材料の低温接合とその応用に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 圧電材料の低温接合とその応用に関する研究
Title Transcription: アツデンザイリョウノテイオンセツゴウトソノオウヨウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 須賀, 唯知, 東京大学
Author Heading: 著者：須賀, 唯知, 1953- スガ, タダトモ, 1953- ( 00204636 )Authorities
Publication Date: 1993-1994
Publication Date (W3CDTF): 1993
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: 圧電材料アツデンザイリヨウ
低温接合テイオンセツゴウ
常温接合ジヨウオンセツゴウ
陽極接合ヨウキヨクセツゴウ
シリコンシリコン
イオン衝撃イオンシヨウゲキ
ラジカルビームラジカルビーム
表面活性化ヒヨウメンカツセイカ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05452289
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05452289
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006990852
http://id.ndl.go.jp/bib/000006990852
Bibliographic Record Category (NDL): 214