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表面構造を化学的に制御した基板を用いるダイヤモンドヘテロエピタキシーの実現

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表面構造を化学的に制御した基板を用いるダイヤモンドヘテロエピタキシーの実現

国立国会図書館請求記号
Y151-H05453104
国立国会図書館書誌ID
000006991049
資料種別
図書
著者
諸岡, 成治, 九州大学
出版者
-
出版年
1993-1994
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ヒョウメン コウゾウ オ カガクテキ ニ セイギョ シタ キバン オ モチイル ダイヤモンドヘテロエピタキシー ノ ジツゲン
著者・編者
諸岡, 成治, 九州大学
著者標目
諸岡, 成治 モロオカ, シゲハル
出版年月日等
1993-1994
出版年(W3CDTF)
1993
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
ダイヤモンド ダイヤモンド
ヘテロエピタキシー ヘテロエピタキシー
薄膜 ハクマク
マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ
核発生 カクハツセイ
成長 セイチヨウ
単結晶膜 タンケツシヨウマク
シリコン シリコン