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表面構造を化学的に制御した基板を用いるダイヤモンドヘテロエピタキシーの実現

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表面構造を化学的に制御した基板を用いるダイヤモンドヘテロエピタキシーの実現

Call No. (NDL)
Y151-H05453104
Bibliographic ID of National Diet Library
000006991049
Material type
図書
Author
諸岡, 成治, 九州大学
Publisher
-
Publication date
1993-1994
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ヒョウメン コウゾウ オ カガクテキ ニ セイギョ シタ キバン オ モチイル ダイヤモンドヘテロエピタキシー ノ ジツゲン
Author/Editor
諸岡, 成治, 九州大学
Author Heading
著者 : 諸岡, 成治, 1941- モロオカ, シゲハル, 1941- ( 00112489 )Authorities
Publication Date
1993-1994
Publication Date (W3CDTF)
1993
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
ダイヤモンド ダイヤモンド
ヘテロエピタキシー ヘテロエピタキシー
薄膜 ハクマク
マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ
核発生 カクハツセイ
成長 セイチヨウ
単結晶膜 タンケツシヨウマク
シリコン シリコン